所屬地區(qū)	浙江省	加入日期	2016年10月14日	截止時(shí)間	2016年10月20日

正文內(nèi)容

 

一．采購人名稱：

浙江大學(xué)

二．采購項(xiàng)目名稱：

光學(xué)軟刻蝕裝置

三．采購項(xiàng)目編號(hào)：

CG201602222

四．原采購公告發(fā)布日期：

2016年10月13日

五．更正理由：

采購人要求

六．更正事項(xiàng)：

技術(shù)參數(shù)更正，更正后的技術(shù)參數(shù)如下：

 

設(shè)備名稱	數(shù)量	技術(shù)參數(shù)
光學(xué)軟刻蝕裝置（進(jìn)口）（CG201602222）	1	1、曝光面積：200×200mm； 2、分辨力：≤3um； 3、對準(zhǔn)精度：±2um； 4、掩模尺寸：3英寸、5英寸、7英寸、9英寸； 5、樣片尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸； 6、wafer chuck表面：防止光反射涂層； 7、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：10mm，Y：10mm； 8、掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X：±5mm，Y：±5mm，q：±6°； 9、汞燈功率：1000W直流； 10、曝光能量密度：≥15mW/cm 2； 11、光源能量控制：光源恒功率（每日測量光強(qiáng)，微調(diào)recipe)； 12、曝光峰值波長：365nm； 13、曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s~9999.9s）； 14、光刻版夾具兼容性； 15、具有盲曝粗對準(zhǔn)功能。 16、配置： 16.1、曝光頭系統(tǒng)：冷光橢球鏡，1000W直流高壓汞燈，XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)，光學(xué)系統(tǒng)（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡），冷卻風(fēng)扇； 16.2、對準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)：掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺(tái)，XY轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)，樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，承片臺(tái)3個(gè)（對應(yīng)樣片），掩模夾3個(gè)（對應(yīng)掩模）； 16.3、CCD對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)：4倍顯微鏡2只，照明光源2套，CCD相機(jī)2只，22英寸液顯； 16.4、電控系統(tǒng)：汞燈觸發(fā)電源(1000W)，單片機(jī)控制系統(tǒng)，控制柜桌； 16.5、氣動(dòng)系統(tǒng)系統(tǒng)：包括氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)，電磁閥驅(qū)動(dòng)，氣動(dòng)儀表等； 16.6、其他附件：真空泵1臺(tái)，空壓機(jī)1臺(tái)，配套氣管10~15m。

 

七．其他事項(xiàng)：

無

八．聯(lián)系方式

采購代理機(jī)構(gòu)名稱： 杭州求是招標(biāo)代理有限公司

地點(diǎn)：杭州市豐潭路380號(hào)城西銀泰城B座11樓1101

聯(lián)系人：王盼

聯(lián)系電話：0571-87953982

傳真： 0571-87666111